FRAUNHOFER-INSTITUT FÜR ANGEWANDTE OPTIK UND FEINMECHANIK (IOF)

Tailored Light – Licht nach Maß


Vom Design zum System

Optische Systemtechnik zur Kontrolle von
Licht – von der Erzeugung über Transport
und Manipulation bis zur Anwendung.


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Bild:
EUV - Schwarzschild-Objektiv für 13,5 nm